|
بررسی تجربی ثابت‌های اپتیکی ویفرسیلیکان با استفاده از طیف بازتاب نور در بازۀ انرژی eV 5-2
|
طاهره سادات سیدی آرانی   ، فاطمه شهشهانی ، رضا ثابت داریانی ، بتول سجاد ، سیده زهرا شورشینی |
|
|
|
چکیده: (1911 مشاهده) |
| در این مقاله ضریب شکست، ضریب جذب و ثابت‌های دی‌الکتریک ویفر سیلیکان نوع p با جهت (100) با استفاده از طیف بازتاب نور از سطح سیلیکان به‌طور تجربی بررسی شده است. بررسی خواص اپتیکی این ویفر که به‌عنوان زیرلایۀ موج‌بر نوری استفاده می‌شود اهمیت ویژه‌ای دارد. ثابت‌های اپتیکی ویفر سیلیکان با استفاده از روش کرامرزکرونیگ و داده‌های تجربی طیف بازتاب، محاسبه شده و سپس نتایج با داده‌های چند مرجع مقایسه شده است. نتایج، توافق خوبی بین ثابت‌های اپتیکی مراجع و داده‌های تجربی طیف بازتاب و محاسبه شده برای نمونۀ موجود در آزمایشگاه به روش کرامرز-کرونیگ وجود دارد. |
|
| واژه‌های کلیدی: ثابت‌های اپتیکی، ویفر سیلیکان، طیف بازتاب، روش کرامرز - کرونیگ. |
|
|
متن کامل [PDF 694 kb]
(1796 دریافت)
|
نوع مطالعه: پژوهشي |
موضوع مقاله:
تخصصي
دریافت: 1396/8/6 | پذیرش: 1396/8/6 | انتشار: 1396/8/6
|
|
|
|
|
|
