بررسی تجربی ثابت‌های اپتیکی ویفرسیلیکان با استفاده از طیف بازتاب نور در بازۀ ‌انرژی eV 5-2

سیدی آرانی, طاهره سادات; شهشهانی, فاطمه; ثابت داریانی, رضا; سجاد, بتول; شورشینی, سیده زهرا

doi:10.52547/jmrph.1.1.41

[صفحه اصلی ]

[Archive] [ English ]

بخش‌های اصلی

صفحه اصلی

آرشیو مجله و مقالات

صفحه برترین‌های پایگاه

اطلاع‌رسانی به دوستان

بایگانی مقالات زیر چاپ

اصول اخلاقی نشریه

شناسنامه نشریه

صاحب امتیاز

دانشگاه خوارزمی

مدیرمسئول

دکتر محمدحسین مجلس آرا

سردبیر

دکتر محمد اسمعیل عظیم عراقی

شاپا چاپی

2588-493X

شاپا الکترونیکی

2588-4921

جستجو در پایگاه

دریافت اطلاعات پایگاه

دوره 1، شماره 1 - ( پاییز و زمستان 1395 )

جلد 1 شماره 1 صفحات 50-41

برگشت به فهرست نسخه ها

بررسی تجربی ثابت‌های اپتیکی ویفرسیلیکان با استفاده از طیف بازتاب نور در بازۀ ‌انرژی eV 5-2

طاهره سادات سیدی آرانی

، فاطمه شهشهانی

، رضا ثابت داریانی

، بتول سجاد

، سیده زهرا شورشینی

چکیده: (1903 مشاهده)

در این مقاله ضریب شکست، ضریب جذب و ثابت‌های دی‌الکتریک ویفر سیلیکان نوع p با جهت (100) با استفاده از طیف بازتاب نور از سطح سیلیکان به‌طور تجربی بررسی شده است. بررسی خواص اپتیکی این ویفر که به‌عنوان زیرلایۀ موج‌بر نوری استفاده می‌شود اهمیت ویژه‌ای دارد. ثابت‌های اپتیکی ویفر سیلیکان با استفاده از روش کرامرزکرونیگ و داده‌های تجربی طیف بازتاب، محاسبه ‌شده و سپس نتایج با داده‌های چند مرجع مقایسه شده است. نتایج، توافق خوبی بین ثابت‌های اپتیکی مراجع و داده‌های تجربی طیف بازتاب و محاسبه شده برای نمونۀ موجود در آزمایشگاه به روش کرامرز-کرونیگ وجود دارد.

واژه‌های کلیدی: ثابت‌های اپتیکی، ویفر سیلیکان، طیف بازتاب، روش کرامرز - کرونیگ.

متن کامل [PDF 694 kb] (1787 دریافت)

نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصي
دریافت: 1396/8/6 | پذیرش: 1396/8/6 | انتشار: 1396/8/6

ارسال نظر درباره این مقاله

‎ 10.52547/jmrph.1.1.41

Mendeley

Zotero

RefWorks

seyedi arani T S, shahshahani F, sabet dariani R, sajad B, shoorshini S Z. Experimental Analysis of Optical Constants of Silicon Wafer by Reflection Spectrum in the Energy Range of 2-5 eV. Journal title 2017; 1 (1) :41-50
URL: http://jmrph.khu.ac.ir/article-1-28-fa.html

سیدی آرانی طاهره سادات، شهشهانی فاطمه، ثابت داریانی رضا، سجاد بتول، شورشینی سیده زهرا. بررسی تجربی ثابت‌های اپتیکی ویفرسیلیکان با استفاده از طیف بازتاب نور در بازۀ ‌انرژی eV 5-2. عنوان نشریه. 1395; 1 (1) :41-50

URL: http://jmrph.khu.ac.ir/article-1-28-fa.html

بازنشر اطلاعات
	این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است.

دوره 1، شماره 1 - ( پاییز و زمستان 1395 )

برگشت به فهرست نسخه ها

Persian site map - English site map - Created in 0.11 seconds with 38 queries by YEKTAWEB 4645