seyedi arani T S, shahshahani F, sabet dariani R, sajad B, shoorshini S Z. Experimental Analysis of Optical Constants of Silicon Wafer by Reflection Spectrum in the Energy Range of 2-5 eV. JMRPh 2017; 1 (1) :41-50
URL:
http://jmrph.khu.ac.ir/article-1-28-fa.html
سیدی آرانی طاهره سادات، شهشهانی فاطمه، ثابت داریانی رضا، سجاد بتول، شورشینی سیده زهرا. بررسی تجربی ثابتهای اپتیکی ویفرسیلیکان با استفاده از طیف بازتاب نور در بازۀ انرژی eV 5-2. نشریه پژوهش های نوین فیزیک. 1395; 1 (1) :41-50
URL: http://jmrph.khu.ac.ir/article-1-28-fa.html
چکیده: (2415 مشاهده)
در این مقاله ضریب شکست، ضریب جذب و ثابتهای دیالکتریک ویفر سیلیکان نوع p با جهت (100) با استفاده از طیف بازتاب نور از سطح سیلیکان بهطور تجربی بررسی شده است. بررسی خواص اپتیکی این ویفر که بهعنوان زیرلایۀ موجبر نوری استفاده میشود اهمیت ویژهای دارد. ثابتهای اپتیکی ویفر سیلیکان با استفاده از روش کرامرزکرونیگ و دادههای تجربی طیف بازتاب، محاسبه شده و سپس نتایج با دادههای چند مرجع مقایسه شده است. نتایج، توافق خوبی بین ثابتهای اپتیکی مراجع و دادههای تجربی طیف بازتاب و محاسبه شده برای نمونۀ موجود در آزمایشگاه به روش کرامرز-کرونیگ وجود دارد.
نوع مطالعه:
پژوهشي |
موضوع مقاله:
تخصصي دریافت: 1396/8/6 | پذیرش: 1396/8/6 | انتشار: 1396/8/6