fa بررسی تجربی ثابت‌های اپتیکی ویفرسیلیکان با استفاده از طیف بازتاب نور در بازۀ ‌انرژی eV 5-2 نانوفیزیک Special پژوهشي Research <span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;">در این مقاله ضریب شکست، ضریب جذب و ثابت‌های دی‌الکتریک ویفر سیلیکان نوع </span></span><span dir="LTR"><span style="font-family:times new roman,serif;"><span style="font-size:10.0pt;">p</span></span></span><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;">&nbsp; با جهت (100) با استفاده از طیف بازتاب نور از سطح سیلیکان به‌طور تجربی بررسی شده است. بررسی خواص اپتیکی این ویفر که به‌عنوان زیرلایۀ موج‌بر نوری استفاده می‌شود اهمیت ویژه‌ای دارد. ثابت‌های اپتیکی ویفر سیلیکان با استفاده از روش کرامرزکرونیگ و داده‌های تجربی طیف بازتاب، محاسبه ‌شده و سپس نتایج با داده‌&shy;های چند مرجع مقایسه شده است. نتایج، توافق خوبی بین ثابت‌های اپتیکی مراجع و داده‌های تجربی طیف بازتاب و محاسبه شده برای نمونۀ موجود در آزمایشگاه به روش کرامرز-کرونیگ وجود دارد</span></span><span dir="LTR"><span style="font-family:times new roman,serif;"><span style="font-size:10.0pt;">.</span></span></span> In this paper reflection index, absorption coefficient and optical constants of p-type silicon wafer with (100) orientation have been experimentally studied by using reflection spectrum from silicon surface. This wafer has been used as a substrate for fabrication of waveguide, so its optical properties have certain importance. In this paper, optical constants of Si wafer is calculated by using Kramers-Kronig method and reflection spectrum experimental data and then our results are compared with some references. The results have good agreement between optical constants of the references and reflection spectrum experimental data and calculated for existence sample in the Lab by using Kramers-Kronig method. ثابت‌های اپتیکی, ویفر سیلیکان, طیف بازتاب, روش کرامرز - کرونیگ. Optical constants, Silicon wafer, Reflection spectrum, Kramers-Kronig method. 41 50 http://jmrph.khu.ac.ir/browse.php?a_code=A-10-32-1&slc_lang=fa&sid=1 tahereh sadat seyedi arani طاهره سادات سیدی آرانی 1003194753284600433 1003194753284600433 No fatemeh shahshahani فاطمه شهشهانی 1003194753284600434 1003194753284600434 No reza sabet dariani رضا ثابت داریانی dariani@alzahra.ac.ir 1003194753284600435 1003194753284600435 No batoul sajad بتول سجاد 1003194753284600436 1003194753284600436 Yes seyedeh zahra shoorshini سیده زهرا شورشینی 1003194753284600437 1003194753284600437 No