fa طراحی و ساخت آشکارساز تابش آلفای سیلیکونی با ساختار P-I-N نانوفیزیک Special پژوهشي Research در این مقاله به فرآیند طراحی و ساخت فوتودیود سیلیکونی با ساختار PIN برای آشکارسازی تابش آلفا پرداخته شده است. قدرت تفکیک انرژی یکی از پارامترهای مهم در اینگونه آشکارسازها می‌باشد، افزایش قدرت تفکیک انرژی آشکارساز منوط به کاهش جریان نشتی فوتودیود ساخته شده می‌باشد. لذا یکی از اهداف بسیار مهم در این تحقیق، طراحی و انجام فرآیند ساخت فوتودیودی می‌باشد که دارای جریان نشتی پایین و قدرت تفکیک انرژی بالا باشد. آشکارسازهای مورد مطالعه در این مقاله پس از اتمام فرآیند ساخت، مورد اندازه‌گیری مشخصات الکترونیکی نظیر جریان – ولتاژ و خازن – ولتاژ و همچنین تست تابش ذرات آلفا از چشمه ی 241Am قرار گرفتند که طیف پاسخ به تابش آلفای بسیار عالیی از آن استخراج گردید. In this article, The silicon-based PIN-type photodiode were designed and fabricated for alpha radiation detection. The energy resolution is one of the most important parameters in this type of detectors; the increase in energy resolution depends on the reduction of the fabricated photodiode dark leakage current. So one of the most important goals in this research is Design and Fabrication of photodiode with low leakage current and high energy resolution. The C-V and I-V electrical tests and the 241Am alpha spectrum measurement are carried out after the completion of the manufacturing process and an excellent spectral response was observed.  آشکارساز تابش, فوتودیود سیلیکونی با ساختار PIN, مشخصات I-V و C-V, طیف آلفا Radiation detector, Silicon PIN photodiode, I-V, C-V characteristics, Spectral response 71 82 http://jmrph.khu.ac.ir/browse.php?a_code=A-10-87-1&slc_lang=fa&sid=1 Mohammad Daraee محمد دارایی m_d_physics@yahoo.com 10031947532846001181 10031947532846001181 Yes Faculty of physics, Kharazmi University دانشگاه خوارزمی Mohammad Esmail Azimaraghi محمد اسمعیل عظیم عراقی me.azimaraghi@gmail.com 10031947532846001182 10031947532846001182 No Faculty of physics, Kharazmi University دانشگاه خوارزمی Mahdi Sadeghi مهدی صادقی mahdisadeghi2003@yahoo.com 10031947532846001183 10031947532846001183 No Iran University of Medical Sciences دانشگاه علوم پزشکی Seyed Ali Hashemizadeh سید علی هاشمی زاده ahashemizadeh@yahoo.com 10031947532846001184 10031947532846001184 No Payam Noor University دانشگاه پیام نور